| 公開(公告)號(hào) | CN1970831A |
| 公開(公告)日 | 2007.05.30 |
| 申請(qǐng)(專利)號(hào) | CN200510126889.9 |
| 申請(qǐng)日期 | 2005.11.25 |
| 專利名稱 | 化學(xué)氣相沉積裝置 |
| 主分類號(hào) | C23C16/00(2006.01)I |
| 分類號(hào) | C23C16/00(2006.01)I |
| 分案原申請(qǐng)?zhí)? | |
| 優(yōu)先權(quán) | |
| 申請(qǐng)(專利權(quán))人 | 中華映管股份有限公司 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人 | 柯志偉;莊仁吉;范世衡 |
| 地址 | 中國臺(tái)灣臺(tái)北市 |
| 頒證日 | |
| 國際申請(qǐng) | |
| 進(jìn)入國家日期 | |
| 專利代理機(jī)構(gòu) | 北京市柳沈律師事務(wù)所 |
| 代理人 | 魏曉剛;李曉舒 |
| 國省代碼 | 臺(tái)灣;TW |
| 主權(quán)項(xiàng) | 一種化學(xué)氣相沉積裝置，其包括： 一反應(yīng)器，具有一排氣端； 一防漏伸縮管結(jié)構(gòu)，其包括： 一壓縮性本體，具有一波紋管； 一套筒，設(shè)置于該波紋管內(nèi)，該套筒的一端連接該反應(yīng)器的排氣端；以及 一墊圈，設(shè)置于該本體的一端；以及 一排氣管，連接于該防漏伸縮管結(jié)構(gòu)的墊圈，用以排出廢氣。 |
| 摘要 | 化學(xué)氣相沉積裝置，包括一反應(yīng)器、一防漏伸縮管結(jié)構(gòu)以及一排氣管。該防漏伸縮管結(jié)構(gòu)包括一壓縮性本體，一套筒以及一墊圈。該墊圈設(shè)置于該本體的一端，用來連接該排氣管。該套筒設(shè)置于該本體內(nèi)，該套筒的一端與該反應(yīng)器相連接，該套筒可避免廢氣直接接觸該本體而殘留于該本體內(nèi)。另外，由于該壓縮性本體以一體成型的方式形成，在廢氣排出的過程中，可避免廢氣自該壓縮性本體中泄漏出，因此可提高制作工藝的質(zhì)量。 |
| 國際公布 |
